Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/31760
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorХолостов, К. И.-
dc.contributor.authorФилатова, О. С.-
dc.contributor.authorБондаренко, В. П.-
dc.date.accessioned2018-06-04T09:38:01Z-
dc.date.available2018-06-04T09:38:01Z-
dc.date.issued2008-
dc.identifier.citationХолостов, К. И. Исследование структуры мезопористого кремния / К. И. Холостов, О. С. Филатова, В. П. Бондаренко // Доклады БГУИР. - 2008. - № 4 (34). - С. 72 - 76.ru_RU
dc.identifier.urihttps://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/31760-
dc.description.abstractМетодом электрохимического анодирования сильнолегированных кремниевых подложек электронного типа проводимости в растворе фтористоводородной кислоты получены пленки мезопористого кремния. Методом сканирующей электронной микроскопии исследованы такие структурные параметры пористого материала, как средний диаметр пор, среднее расстояние между порами, концентрация пор на поверхности. Полученные данные можно использовать для построения компьютерной модели структуры мезопористого кремния для теоретической разработки процессов осаждения металлов, а также полупроводниковых соединений на поверхность пористого материала и вглубь каналов пор для формирования различных сенсорных, оптических и оптоэлектронных приборов.ru_RU
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherБГУИРru_RU
dc.subjectдоклады БГУИРru_RU
dc.subjectэлектрохимическое анодированиеru_RU
dc.subjectпористый кремнийru_RU
dc.subjectсканирующая электронная микроскопияru_RU
dc.titleИсследование структуры мезопористого кремнияru_RU
dc.title.alternativeInvestigation of structure of mesoporous siliconru_RU
dc.typeСтатьяru_RU
Appears in Collections:№4 (34)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Kholostov_Investigation.PDF440.21 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.