Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/31807
Title: Структурные и электрофизические свойства бинарных и тройных сплавов алюминия для металлизации микродисплеев типа LED-ON- SILICON
Other Titles: Structural and electrophysical properties of aluminium binary and ternary alloys for metallization o f LED-ON-SILICON microdisplays
Authors: Черных, А. Г.
Павлюковец, С. А.
Смирнов, А. Г.
Ригольд, С. В.
Keywords: доклады БГУИР;металлизация ИС;сплавы алюминия;редкоземельные металлы;микродисплейные устройства;структурные и электрофизические свойства
Issue Date: 2008
Publisher: БГУИР
Citation: Структурные и электрофизические свойства бинарных и тройных сплавов алюминия для металлизации микродисплеев типа LED-ON- SILICON / А. Г. Смирнов и другие // Доклады БГУИР. - 2008. - № 5 (35). - С. 97 - 103.
Abstract: Исследованы и объяснены закономерности, связывающие условия формирования тонких пленок А1+0,8%Но, Al+0,8%Ho+l%Si, Al+l%Si, Al+l,5%Si, Al+l,5%Si+4%Cu (% по массе) при магнетронном распылении со структурой пленок, устойчивостью их при термообработ­ ках, профилем распределения легирующей примеси, электросопротивлением, качеством пе­ рекрытия ступенчатого рельефа поверхности. Показано, что пленки тройного сплава Al+0,8%Ho+l%Si при заданных температурных режимах осаждения и отжига обладают наилучшим сочетанием электрических, морфологических свойств и могут быть использо­ ваны в качестве металлизации микродисплеев типа LED-ON-SILICON.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/31807
Appears in Collections:№5 (35)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Chernykh_Strukturnyye.PDF309.11 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.