https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/31807
Title: | Структурные и электрофизические свойства бинарных и тройных сплавов алюминия для металлизации микродисплеев типа LED-ON- SILICON |
Other Titles: | Structural and electrophysical properties of aluminium binary and ternary alloys for metallization o f LED-ON-SILICON microdisplays |
Authors: | Черных, А. Г. Павлюковец, С. А. Смирнов, А. Г. Ригольд, С. В. |
Keywords: | доклады БГУИР;металлизация ИС;сплавы алюминия;редкоземельные металлы;микродисплейные устройства;структурные и электрофизические свойства |
Issue Date: | 2008 |
Publisher: | БГУИР |
Citation: | Структурные и электрофизические свойства бинарных и тройных сплавов алюминия для металлизации микродисплеев типа LED-ON- SILICON / А. Г. Смирнов и другие // Доклады БГУИР. - 2008. - № 5 (35). - С. 97 - 103. |
Abstract: | Исследованы и объяснены закономерности, связывающие условия формирования тонких пленок А1+0,8%Но, Al+0,8%Ho+l%Si, Al+l%Si, Al+l,5%Si, Al+l,5%Si+4%Cu (% по массе) при магнетронном распылении со структурой пленок, устойчивостью их при термообработ ках, профилем распределения легирующей примеси, электросопротивлением, качеством пе рекрытия ступенчатого рельефа поверхности. Показано, что пленки тройного сплава Al+0,8%Ho+l%Si при заданных температурных режимах осаждения и отжига обладают наилучшим сочетанием электрических, морфологических свойств и могут быть использо ваны в качестве металлизации микродисплеев типа LED-ON-SILICON. |
URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/31807 |
Appears in Collections: | №5 (35) |
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
Chernykh_Strukturnyye.PDF | 309.11 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.