| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Маргун, Ю. С. | - |
| dc.contributor.author | Поваляева, Н. И. | - |
| dc.contributor.author | Степанцов, Е. В. | - |
| dc.contributor.author | Макаревич, Я. С. | - |
| dc.contributor.author | Петрушкевич, В. Р. | - |
| dc.date.accessioned | 2018-06-08T09:46:12Z | - |
| dc.date.available | 2018-06-08T09:46:12Z | - |
| dc.date.issued | 2018 | - |
| dc.identifier.citation | Аналитическая оценка структурных особенностей тонких металлических пленок, формируемых методом ионно-плазменного напыления / Ю. С. Маргун и другие // Компьютерные системы и сети: материалы 54-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 23 – 27 апреля 2018 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск, 2018. – С. 142 – 144. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/31852 | - |
| dc.description.abstract | Исследована микроструктура поверхности тонких металлических пленок Al и его бинарных сплавов с хромом и
железом, сформированных ионно-ассистированным осаждением на стеклянных подложках, методом растровой
электронной микроскопии (РЭМ). Проведен анализ полученных РЭМ изображений методом случайных секущих. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | тонкие металлические пленки | ru_RU |
| dc.subject | ионно-плазменное напыление | ru_RU |
| dc.title | Аналитическая оценка структурных особенностей тонких металлических пленок, формируемых методом ионно-плазменного напыления | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Компьютерные системы и сети : материалы 54-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2018)
|
