| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Биран, С. А. | - |
| dc.contributor.author | Короткевич, Д. А. | - |
| dc.contributor.author | Короткевич, А. В. | - |
| dc.date.accessioned | 2018-06-11T08:46:59Z | - |
| dc.date.available | 2018-06-11T08:46:59Z | - |
| dc.date.issued | 2018 | - |
| dc.identifier.citation | Биран, С. А. Активные элементы МЭМС на основе анодного оксида алюминия / С. А. Биран, Д. А. Короткевич, А. В. Короткевич // Технические средства защиты информации : тезисы докладов ХVI Белорусско-российской научно – технической конференции, Минск, 5 июня 2018 г. – Минск: БГУИР, 2017. – С. 21. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/31881 | - |
| dc.description.abstract | Устройства на базе микроэлектромеханических систем (МЭМС) широко используются
в промышленной электронике, медицине, военной и космической технике. Их функциональные
характеристики определяются механическими свойствами материала, на основе которых они
сформированы. В настоящее время основным материалом в МЭМС технологии является
кремний и его модификации из-за хороших физических и механических свойств. Однако,
использование кремния связано с высокотемпературными процессами (500–1200 єС),
что снижает его физико-механические свойства и вызывает в нем высокие механические
напряжения, кроме того не всегда можно получить требуемую геометрию элемента. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | микроэлектромеханические системы | ru_RU |
| dc.subject | анодный оксид алюминия | ru_RU |
| dc.title | Активные элементы МЭМС на основе анодного оксида алюминия | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | ТСЗИ 2018
|
