Системы управления электронно-оптическими комплексами. Лабораторный практикум : пособие

Abstract

Пособие содержит лабораторные работы по ознакомлению с базовыми компонентами структуры систем управления электронно-оптическими комплексами на базе спецтехнологического оборудования ремонта топологии промежуточного оригинала (ПО) интегральных схем, программированию работы установки по ремонту ПО, выполнению ремонта ПО, исследованию динамических параметров механизмов координатных осей координатной системы установок, калибровке шага сетки дискретности координатной оси, исследованию статического усилия на базе линейных шаговых двигателей с электромагнитной системой реактивного типа. Предназначено для закрепления и углубления теоретических знаний, приобретения практических навыков работы при эксплуатации спецтехнологического оборудования для производства изделий микроэлектроники в рамках филиала кафедры электронной техники и технологии на НПО «Планар».