| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Борисова, М. А. | - |
| dc.date.accessioned | 2018-09-06T11:50:46Z | - |
| dc.date.available | 2018-09-06T11:50:46Z | - |
| dc.date.issued | 2018 | - |
| dc.identifier.citation | Борисова, М. А. Блок питания в составе СВЧ генератора средней мощности / М. А. Борисова // Компьютерное проектирование и технология производства электронных систем: сборник тезисов 54 научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 23–27 апреля 2018 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; отв. ред. Раднёнок А. Л. – Минск, 2018. – С. 127 - 128. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/32836 | - |
| dc.description.abstract | Применение СВЧ плазмы для проведения различных процессов вакуумно-плазменной обработки материалов связано
с ее уникальными электрофизическими свойствами и особенностями. В этом направлении особо важное значение имеет
использование плазменных методов обработки материалов, позволяющих не только целенаправленно достигать заданных
физических и служебных свойств, а также геометрических характеристик поверхностных слоев обрабатываемых материалов,
но и существенно сократить материальные и временные затраты на разработку оборудования и технологии с одновременным
значительным повышением производительности процессов и качества изделий микроэлектроники. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | СВЧ плазма | ru_RU |
| dc.subject | блок питания | ru_RU |
| dc.subject | СВЧ генератор средней мощности | ru_RU |
| dc.title | Блок питания в составе СВЧ генератора средней мощности | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Компьютерное проектирование и технология производства электронных систем : материалы 54-ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2018)
|
