| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Емельянов, В. В. | - |
| dc.date.accessioned | 2018-09-06T12:25:36Z | - |
| dc.date.available | 2018-09-06T12:25:36Z | - |
| dc.date.issued | 2018 | - |
| dc.identifier.citation | Емельянов, В. В. Технология плазмохимического травления нитрида кремния при создании изоляции LOCOS для полупроводниковых приборов субмикронных проектных норм / В. В. Емельянов // Компьютерное проектирование и технология производства электронных систем: сборник тезисов 54 научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 23–27 апреля 2018 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; отв. ред. Раднёнок А. Л. – Минск, 2018. – С. 141 - 142. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/32841 | - |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | механизмы плазмохимического травления | ru_RU |
| dc.subject | плазма | ru_RU |
| dc.subject | селективность | ru_RU |
| dc.subject | изоляция LOCOS | ru_RU |
| dc.title | Технология плазмохимического травления нитрида кремния при создании изоляции LOCOS для полупроводниковых приборов субмикронных проектных норм | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Компьютерное проектирование и технология производства электронных систем : материалы 54-ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2018)
|
