| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Хамицевич, Е. Ю. | - |
| dc.contributor.author | Лушакова, М. С. | - |
| dc.date.accessioned | 2018-09-13T13:45:41Z | - |
| dc.date.available | 2018-09-13T13:45:41Z | - |
| dc.date.issued | 2018 | - |
| dc.identifier.citation | Хамицевич, Е. Ю. Вакуумно-плазменные системы двухчастотных разрядов для технологического применения / Е. Ю. Хамицевич, М. С. Лушакова // Компьютерное проектирование и технология производства электронных систем: сборник тезисов 54-ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 23–27 апреля 2018 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; отв. ред. Раднёнок А. Л. – Минск, 2018. – С. 194 - 195. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/32906 | - |
| dc.description.abstract | Двухчастотная емкостно-связанная плазма интенсивно изучается как экспериментально, так и теоретически в целях
применения технологии для анизотропного и селективного травления материалов с высокими скоростями. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | двухчастотная емкостно-связанная плазма | ru_RU |
| dc.subject | вакуумно-плазменные системы | ru_RU |
| dc.title | Вакуумно-плазменные системы двухчастотных разрядов для технологического применения | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Компьютерное проектирование и технология производства электронных систем : материалы 54-ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2018)
|
