https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/32914| Title: | Лабораторный модуль для изучения высоковакуумной системы |
| Authors: | Кузавкова, М. Л. |
| Keywords: | материалы конференций;высоковакуумная система |
| Issue Date: | 2018 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Кузавкова, М. Л. Лабораторный модуль для изучения высоковакуумной системы / М. Л. Кузавкова // Компьютерное проектирование и технология производства электронных систем: сборник тезисов 54-ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 23–27 апреля 2018 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; отв. ред. Раднёнок А. Л. – Минск, 2018. – С. 164. |
| Abstract: | Развитие нанотехнологий, разработка новых технологических процессов, обеспечивающих техническое перевооружение основных отраслей производства, тесно связаны с вакуумной техникой. Новейшие технологические разработки непосредственно связаны с использованием вакуумных установок [1]. В данной работе рассмотрен лабораторный модуль для изучения высоковакуумной системы на базе поста вакуумного универсального ВУП-5, позволяющего получить степень вакуума до 2Ч10-4 Па. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/32914 |
| Appears in Collections: | Компьютерное проектирование и технология производства электронных систем : материалы 54-ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2018) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Kuzavkova_Laboratorniy.pdf | 377.23 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.