| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Прокофьев, С. С. | - |
| dc.date.accessioned | 2018-09-18T06:16:24Z | - |
| dc.date.available | 2018-09-18T06:16:24Z | - |
| dc.date.issued | 2018 | - |
| dc.identifier.citation | Прокофьев, С. С. Особенности процессов плазмохимической обработки материалов в проточных туннельных реакторах при низком вакууме / С. С. Прокофьев // Компьютерное проектирование и технология производства электронных систем: сборник тезисов 54-ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 23–27 апреля 2018 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; отв. ред. Раднёнок А. Л. – Минск, 2018. – С. 170 - 171. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/32948 | - |
| dc.description.abstract | Обработка поверхности твердотельных структур с помощью низкотемпературной неравновесной плазмы представляет
собой сложный комплекс физикохимических процессов образования активных частиц в результате внешнего энергетического
воздействия на рабочую газообразную среду и взаимодействия этих частиц между собой, с обрабатываемой поверхностью и
стенками, ограничивающими разрядное пространство. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | плазмохимическая обработка материалов | ru_RU |
| dc.subject | проточные туннельные реакторы | ru_RU |
| dc.subject | низкий вакуум | ru_RU |
| dc.title | Особенности процессов плазмохимической обработки материалов в проточных туннельных реакторах при низком вакууме | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Компьютерное проектирование и технология производства электронных систем : материалы 54-ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2018)
|
