https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/32958| Title: | Исследовательский стенд для определения эффективности фотоионизации газа |
| Authors: | Тихон, О. И. |
| Keywords: | материалы конференций;фотоионизация газа |
| Issue Date: | 2018 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Тихон, О. И. Исследовательский стенд для определения эффективности фотоионизации газа / О. И. Тихон // Компьютерное проектирование и технология производства электронных систем: сборник тезисов 54-ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 23–27 апреля 2018 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; отв. ред. Раднёнок А. Л. – Минск, 2018. – С. 185 - 186. |
| Abstract: | В условиях производства микро- и наноэлектроники актуальной является проблема поиска способов увеличения производительности труда и модификации существующих технологических процессов. Стандартным путём для решения подобных задач является повышение мощности используемого технологического оборудования. В качестве альтернативы возможно использование методов предварительной активации реализуемых процессов, например путём фотоионизации рабочего газа, позволяющих увеличить их эффективность. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/32958 |
| Appears in Collections: | Компьютерное проектирование и технология производства электронных систем : материалы 54-ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2018) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Tikhon_Issledovatelskiy.pdf | 400.03 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.