| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Юшкевич, С. А. | - |
| dc.date.accessioned | 2018-09-18T07:51:22Z | - |
| dc.date.available | 2018-09-18T07:51:22Z | - |
| dc.date.issued | 2018 | - |
| dc.identifier.citation | Юшкевич, С. А. Синтез пленок SiOF реактивным ионно-лучевым распылением мишени из кремния / С. А. Юшкевич // Компьютерное проектирование и технология производства электронных систем: сборник тезисов 54-ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 23–27 апреля 2018 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; отв. ред. Раднёнок А. Л. – Минск, 2018. – С. 205 - 206. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/32962 | - |
| dc.description.abstract | Исследованы процессы взаимодействия ионных пучков аргона и фреона-218 с мишенью из кремния. Плёнки
формировались на подложках из кремния. Температура подложки не превышала 333 К. Установлено, что скорость нанесения
увеличивается с ростом содержания фреона в рабочем газе, можно объяснить встраиванием атомов фтора в структуру
диоксида кремния и снижением плотности покрытия. Исследовано влияние величины положительного потенциала на
мишени на скорость нанесения пленок SiOF.Установлено, что наличие положительного потенциала на мишени
неоднозначно влияло на скорость нанесения. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | SiOF | ru_RU |
| dc.subject | синтез пленок | ru_RU |
| dc.subject | реактивное ионно-лучевое распыление | ru_RU |
| dc.subject | кремний | ru_RU |
| dc.title | Синтез пленок SiOF реактивным ионно-лучевым распылением мишени из кремния | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Компьютерное проектирование и технология производства электронных систем : материалы 54-ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2018)
|
