| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Жердецкая, В. М. | - |
| dc.date.accessioned | 2018-09-18T07:55:49Z | - |
| dc.date.available | 2018-09-18T07:55:49Z | - |
| dc.date.issued | 2018 | - |
| dc.identifier.citation | Жердецкая, В. М. Влияние режимов синтеза в режиме ионно-пучкового фокуса на коэффициенты преломления и поглощения пленок диоксида кремния / В. М. Жердецкая // Компьютерное проектирование и технология производства электронных систем: сборник тезисов 54-ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 23–27 апреля 2018 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; отв. ред. Раднёнок А. Л. – Минск, 2018. – С. 145 - 146. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/32964 | - |
| dc.description.abstract | Исследовано влияние режимов синтеза пленок диоксида кремния в режиме ионно-пучкового фокуса на коэффициенты
преломления и поглощения пленок SiO2. Измерение оптических параметров осуществлялось на спектрофотометреHoriba
Jobin Yvon в диапазоне 200…850 нм. Установлено, что определяющее влияние на коэффициенты преломления и
поглощения имеет парциальное давление кислорода в рабочем газе. Уменьшение энергии ионов в пучке способствовало
снижению k до 0,002 и коэффициента преломления до 1,63. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | ионно-пучковый фокус | ru_RU |
| dc.subject | коэффициенты преломления | ru_RU |
| dc.subject | коэффициенты поглощения | ru_RU |
| dc.subject | пленки диоксида кремния | ru_RU |
| dc.title | Влияние режимов синтеза в режиме ионно-пучкового фокуса на коэффициенты преломления и поглощения пленок диоксида кремния | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Компьютерное проектирование и технология производства электронных систем : материалы 54-ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2018)
|
