| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Достанко, А. П. | - |
| dc.contributor.author | Бордусов, С. В. | - |
| dc.contributor.author | Голосов, Д. А. | - |
| dc.contributor.author | Завадский, С. М. | - |
| dc.contributor.author | Колос, В. В. | - |
| dc.contributor.author | Купо, А. Н. | - |
| dc.contributor.author | Ланин, В. Л. | - |
| dc.contributor.author | Лушакова, М. С. | - |
| dc.contributor.author | Мадвейко, С. И. | - |
| dc.contributor.author | Мельников, С. Н. | - |
| dc.contributor.author | Петлицкий, А. Н. | - |
| dc.contributor.author | Петухов, И. Б. | - |
| dc.contributor.author | Солодуха, В. А. | - |
| dc.contributor.author | Телеш, Е. В. | - |
| dc.date.accessioned | 2018-09-28T07:56:12Z | - |
| dc.date.available | 2018-09-28T07:56:12Z | - |
| dc.date.issued | 2018 | - |
| dc.identifier.citation | Технологии субмикронных структур микроэлектроники / А. П. Достанко [и др.] ; под ред. акад. НАН Беларуси А. П. Достанко. – Минск : Беларуская навука, 2018. – 270 с. | ru_RU |
| dc.identifier.isbn | 978-985-08-2298-7 | - |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/33057 | - |
| dc.description.abstract | Рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области технологии и оборудования для производства и диагностики субмикронных структур полупроводниковой микроэлектроники. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | РУП “Издательский дом Беларуская навука ” | ru_RU |
| dc.subject | публикации ученых | ru_RU |
| dc.subject | микроэлектроника | ru_RU |
| dc.subject | технологии | ru_RU |
| dc.subject | субмикронные структуры | ru_RU |
| dc.title | Технологии субмикронных структур микроэлектроники | ru_RU |
| dc.type | Книга | ru_RU |
| Appears in Collections: | Публикации в изданиях Республики Беларусь
|
