Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/33874
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorКовалевский, А. А.-
dc.contributor.authorКотов, Д. А.-
dc.contributor.authorКорзун, К. А.-
dc.contributor.authorЯсюнас, А. А.-
dc.contributor.authorГранько, С. В.-
dc.date.accessioned2018-12-13T06:57:18Z-
dc.date.available2018-12-13T06:57:18Z-
dc.date.issued2018-
dc.identifier.citationИсследование кинетики роста и оптических свойств DLC покрытий при разложении ацетилена в низкотемпературной высокоплотной плазме индукционного разряда / А. А. Ковалевский и др. // Материалы и структуры современной электроники : материалы VIII Международной научной конференции, Минск, 10–12 октября 2018 г. / редкол.: В. Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. – Минск: БГУ, 2018. – С. 255 – 261.ru_RU
dc.identifier.urihttps://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/33874-
dc.description.abstractИсследованы кинетика роста и оптические свойства алмазоподобных углеродных (DLC) покрытий при разложении ацетилена в низкотемпературной высокоплотной плазме индукционного разряда. Установлено, что основными факторами, влияющими на скорость осаждения и оптические свойства наноструктурированных алмазоподобных покрытий в высокоплотной плазме индукционного разряда, являются: тип прекурсоров, качество исходной подложки, общее давление газовой смеси, парциальное давление каждого из прекурсоров и величина подводимой к разряду ВЧ-мощности.ru_RU
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherБГУru_RU
dc.subjectпубликации ученыхru_RU
dc.subjectалмазоподобные углеродные покрытияru_RU
dc.subjectВЧ-мощностиru_RU
dc.titleИсследование кинетики роста и оптических свойств DLC покрытий при разложении ацетилена в низкотемпературной высокоплотной плазме индукционного разрядаru_RU
dc.typeСтатьяru_RU
Appears in Collections:Публикации в изданиях Республики Беларусь

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Kovalevskiy_Issledovaniye.PDF104.99 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.