| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Карпович, С. Е. | - |
| dc.contributor.author | Зубов, Г. А. | - |
| dc.contributor.author | Войтов, А. Ю. | - |
| dc.date.accessioned | 2019-01-16T07:25:47Z | - |
| dc.date.available | 2019-01-16T07:25:47Z | - |
| dc.date.issued | 2018 | - |
| dc.identifier.citation | Карпович, С. Е. Системы перемещений в прецизионном оборудовании микроэлектроники / С. Е. Карпович, Г. А. Зубов, А. Ю. Войтов // Информационные технологии и системы 2018 (ИТС 2018) = Information Technologies and Systems 2018 (ITS 2018) : материалы международной научной конференции, Минск, 25 октября 2018 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол. : Л. Ю. Шилин [и др.]. – Минск, 2018. – С. 42 - 43. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34205 | - |
| dc.description.abstract | В работе проанализированы новые тенденции построения современных систем перемещений для прецизионного оборудования нано- и микроэлектроники, предназначенных для создания систем позиционирования, выполнения технологических и измерительных операций, а также представленные в работе под-
ходы могут быть использованы при создании современных обрабатывающих центров и автоматических
линий машиностроительного профиля. Они позволяют, в настоящее время, разрешить большинство из
проблем, присущих традиционной и широко используемой компоновке на сложившейся элементной базе. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | изделия электронной техники | ru_RU |
| dc.subject | технологическое оборудование производства | ru_RU |
| dc.title | Системы перемещений в прецизионном оборудовании микроэлектроники | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | ИТС 2018
|
