Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34278
Title: Разложение моносилана в газовой фазе с использованием катализатора Co40Fe8Pt50Ni2 на полиимидном носителе
Authors: Ковалевский, А. А.
Строгова, А. С.
Кузнецов, Д. Ф.
Воронец, Я. С.
Keywords: публикации ученых;моногидриды;моносилан;полиметаллический катализатор;пленки кремния;полиимид
Issue Date: 2018
Publisher: Новые технологии
Citation: Разложение моносилана в газовой фазе с использованием катализатора Co40Fe8Pt50Ni2 на полиимидном носителе / А. А. Ковалевский [и др.] // Нано- и микросистемная техника. - 2018. - № 12. - С. 756-764. – DOI: 10.17587/nmst.20.
Abstract: Показана высокая степень эффективности полиметаллического катализатора (ПМК) Co40Fe8Pt50Ni2 на полиимидном носителе в процессе разложения моносилана при осаждении наноструктурированных поликристаллических пленок кремния.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34278
Appears in Collections:Публикации в зарубежных изданиях

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Kovalevskiy_Razlozheniye.pdf113.46 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.