Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34357
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorСолодуха, В. А.-
dc.contributor.authorПетлицкий, А. Н.-
dc.contributor.authorПетлицкая, Т. В.-
dc.contributor.authorПилипенко, В. А.-
dc.contributor.authorКовальчук, Н. С.-
dc.date.accessioned2019-02-01T07:18:22Z-
dc.date.available2019-02-01T07:18:22Z-
dc.date.issued2018-
dc.identifier.citationСовременные методы и оборудование для исследования полупроводниковых структур микро- и наноэлектроники в центре коллективного пользования "Белмикроанализ" ОАО"ИНТЕГРАЛ" / В. А. Солодуха [и др.] // Сборник трудов VIII Украинской конференция по физике полупро-водников, Ужгород, 2 - 4 октября 201г. / Черновицкий национальный университет имени Юрия Федьковича. - Ужгород, 2018. - С. 402 - 403.ru_RU
dc.identifier.urihttps://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34357-
dc.description.abstractПриведены основные виды дея-тельности Государственного центра пользования "Белмикроанализ" ОАО"ИНТЕГРАЛ" .ru_RU
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherВидавництво ТОВ "Рik-У"ru_RU
dc.subjectпубликации ученыхru_RU
dc.subjectанализ отказов ИМСru_RU
dc.subjectаттестация технологических процессовru_RU
dc.subjectанализ конструкции ИМСru_RU
dc.subjectконтроль химического составаru_RU
dc.titleСовременные методы и оборудование для исследования полупроводниковых структур микро- и наноэлектроники в центре коллективного пользования "Белмикроанализ" ОАО"ИНТЕГРАЛ"ru_RU
dc.typeСтатьяru_RU
Appears in Collections:Публикации в зарубежных изданиях

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Pilipenko_Sovremennyye.PDF463.2 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.