https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34429| Title: | Круглая магнетронная распылительная система для формирования наноразмерных проводящих слоев |
| Authors: | Аксючиц, А. В. Леонович, Н. В. |
| Keywords: | материалы конференций;магнетронная распылительная система;наноразмерные проводящие слои |
| Issue Date: | 2018 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Аксючиц, А. В. Круглая магнетронная распылительная система для формирования наноразмерных проводящих слоев / А. В. Аксючиц, Н. В. Леонович // Радиотехника и электроника : материалы 54-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 23–27 апреля 2018 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск, 2018. – С. 137. |
| Abstract: | Тонкопленочные технологии находят широкое применение в микро- и наноэлектронике для изготовления изделий магнито-, крио-, оптоэлектроники и для получения широкого круга оптических покрытий различного назначения. Следует подчеркнуть, что поведение электронов в тонких пленках качественно отличается от поведения в массивах благодаря возникновению новых, так называемых квантовых размерных эффектов. Эти явления используют, в частности, в тонкопленочных микросхемах, составляющих основу современной микроэлектроники. Для получения таких тонких плёнок можно использовать магнетронные распылительные системы. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34429 |
| Appears in Collections: | Радиотехника и электроника : материалы 54-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2018) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Aksyuchits_Kruglaya.PDF | 223.9 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.