| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Диас, Л. | - |
| dc.contributor.author | Роселина, А. | - |
| dc.contributor.author | Палмера, Д. | - |
| dc.contributor.author | Мигель, А. | - |
| dc.date.accessioned | 2019-02-12T08:30:00Z | - |
| dc.date.available | 2019-02-12T08:30:00Z | - |
| dc.date.issued | 2018 | - |
| dc.identifier.citation | Определение профиля зоны эрозии магнетронной распыленой системы / Л. Диас [и др.] // Радиотехника и электроника : материалы 54-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 23–27 апреля 2018 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск, 2018. – С. 148. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34434 | - |
| dc.description.abstract | Представлена математическая модель моделирования профиля эрозии в магнетронном распылении. Разработано
модель основана на математическом описании функциитделится на 2 экспоненты и параболу. Для проверки предложенной
модели были сделаны измерения алюминиевой мишени диаметра 100 мм и толщины 6 мм. Анализ результатов исследования показывает, что погрешность моделирования не превышает 20,0%. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | магнетронная распыленая систем | ru_RU |
| dc.subject | зона эрозии | ru_RU |
| dc.title | Определение профиля зоны эрозии магнетронной распыленой системы | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Радиотехника и электроника : материалы 54-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2018)
|
