| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Сычевич, А. С. | - |
| dc.date.accessioned | 2019-02-18T07:44:57Z | - |
| dc.date.available | 2019-02-18T07:44:57Z | - |
| dc.date.issued | 2018 | - |
| dc.identifier.citation | Сычевич, А. С. Микроактюаторы, использующие энергию горения нанопористого кремния / А. С. Сычевич // Радиотехника и электроника : материалы 54-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 23–27 апреля 2018 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск, 2018. – С. 169–170. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34462 | - |
| dc.description.abstract | Горение нанопористого кремния с межпоровым пространством, заполненным твердотельным окислителем, исследовался с целью его использования в качестве источника энергии в микроэлектромеханических системах (МЭМС). Исследования показали, что в микросистемах с кремниевым чипом площадью 1,2 см2 может быть получен импульс 170 мН·с
за счет применения структуры состоящей из двух кристаллов кремниевых пластин. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | микроактюаторы | ru_RU |
| dc.subject | нанопористый кремний | ru_RU |
| dc.title | Микроактюаторы, использующие энергию горения нанопористого кремния | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Радиотехника и электроника : материалы 54-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2018)
|
