| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Занько, А. И. | - |
| dc.date.accessioned | 2019-02-18T07:57:20Z | - |
| dc.date.available | 2019-02-18T07:57:20Z | - |
| dc.date.issued | 2018 | - |
| dc.identifier.citation | Занько, А. И. Протяженный источник ионов для обработки в вакууме / А. И. Занько // Радиотехника и электроника : материалы 54-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 23–27 апреля 2018 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск, 2018. – С. 149. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34465 | - |
| dc.description.abstract | В настоящее время источники ионов широко используются в технике для осуществления
различных технологических процессов: очистки и активации поверхности перед нанесением покрытия, размерной обработки поверхности прецизионных деталей, пассивирования поверхности металлов, синтеза алмазоподобных пленок на поверхности твердого тела, либо удаления пленок с этой поверхности. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | источника ионов с анодным слоем | ru_RU |
| dc.subject | ионно-лучевой источник | ru_RU |
| dc.title | Протяженный источник ионов для обработки в вакууме | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Радиотехника и электроника : материалы 54-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2018)
|
