| Abstract: | Кратко рассмотрены элементы метрологии, используемые в микросенсорике.
Подробно рассмотрены основные твердотельные датчики, используемые
преимущественно в наукоемких областях (точная механика и оптика, микро- и
наноэлектроника, атомная энергетика, военное дело): датчики на основе
гальваномагнитных эффектов, датчики давления, температуры и теплового
излучения, скорости и ускорения, газоанализаторы, датчики влажности, изображения,
детекторы радиоактивного излучения, актюаторы и сенсоры вакуумно-плазменных
технологий, обеспечивающие высокое качество продукции при изготовлении
указанных датчиков. Все рассмотренные датчики описываются по единому принципу:
детальное рассмотрение физического эффекта, лежащего в основе работы; выбор и
практическая реализация конструктивно-технологических решений. |
