| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Ланин, В. Л. | - |
| dc.contributor.author | Чан, Н. Д | - |
| dc.date.accessioned | 2019-03-22T08:39:22Z | - |
| dc.date.available | 2019-03-22T08:39:22Z | - |
| dc.date.issued | 2019 | - |
| dc.identifier.citation | Ланин, В. Л. Моделирование лазерной размерной обработки кремниевых подложек / В. Л. Ланин, Н. Д. Чан // BIG DATA and Advanced Analytics = BIG DATA и анализ высокого уровня : сборник материалов V Международной научно-практической конференции, Минск, 13–14 марта 2019 г. В 2 ч. Ч. 2 / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники; редкол. : В. А. Богуш [и др.]. – Минск, 2019. – С. 157 – 161. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34812 | - |
| dc.description.abstract | Моделирование в программных пакетах COMSOL Multiphysics и MathCAD термопрофилей лазерной обработки и глубины и диаметров отверстий в кремниевой подложке позволило установить зависимости температуры поверхности от параметров лазера, таких как частота следования и радиус луча, а
также зависимости диаметра и глубины отверстия от энергии импульсного излучения. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | лазерное сверление отверстий | ru_RU |
| dc.subject | COMSOL Multiphysics | ru_RU |
| dc.subject | MathCAD | ru_RU |
| dc.subject | кремниевая подложка | ru_RU |
| dc.title | Моделирование лазерной размерной обработки кремниевых подложек | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | BIG DATA and Advanced Analytics = BIG DATA и анализ высокого уровня : материалы конференции (2019)
|
