| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Вилья, Н. | - |
| dc.contributor.author | Голосов, Д. А. | - |
| dc.contributor.author | Нгуен, Т. Д. | - |
| dc.date.accessioned | 2019-09-06T09:36:57Z | - |
| dc.date.available | 2019-09-06T09:36:57Z | - |
| dc.date.issued | 2019 | - |
| dc.identifier.citation | Вилья, Н. Формирование пленок оксида титана методом реактивного магнетронного распыления / Н. Вилья, Д. А. Голосов, Т. Д. Нгуен // Доклады БГУИР. – 2019. – № 5 (123). – С. 87-93. – DOI: http://dx.doi.org/10.35596/1729-7648-2019-123-5-87-93. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/36108 | - |
| dc.description.abstract | В статье представлены результаты исследований диэлектрических характеристик пленок оксида титана, нанесенных методом реактивного магнетронного распыления Ti мишени в Ar/O2 смеси газов. Установлены зависимости диэлектрической проницаемости, тангенса угла диэлектрических потерь, ширины запрещенной зоны, плотности токов утечки от содержания кислорода в Ar/O2 смеси
газов в процессе нанесения пленок. Получены пленки с диэлектрической проницаемостью 20–30 единиц, тангенсом угла диэлектрических потерь 0,02, шириной запрещенной зоны 3,82 эВ и плотностью токов утечки при напряженности электрического поля 2,0Ч106 В/см менее 1,0 А/см2. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | доклады БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | оксид титана | ru_RU |
| dc.subject | реактивное магнетронное распыление | ru_RU |
| dc.subject | МОП структура | ru_RU |
| dc.subject | диэлектрические свойства | ru_RU |
| dc.title | Формирование пленок оксида титана методом реактивного магнетронного распыления | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | №5 (123)
|
