| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Шекелевский, В. В. | - |
| dc.contributor.author | Бездников, М. С. | - |
| dc.date.accessioned | 2019-09-17T08:41:57Z | - |
| dc.date.available | 2019-09-17T08:41:57Z | - |
| dc.date.issued | 2019 | - |
| dc.identifier.citation | Шекелевский, В. В. Алгоритм расчета зоны плазмообразования в магнетронной распылительной системе / В. В. Шекелевский, М. С. Бездников // Радиотехника и электроника: 55-я юбилейная научная конференция аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 22–26 апреля 2019 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск, 2019. – С. 179–180. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/36276 | - |
| dc.description.abstract | В работе представлена методика определения равномерности формируемого покрытия исходя из количественной оценки
эффектов и процессов магнетронного распыления и конденсации на подложке. Выполнена верификация результата
расчетов с экспериментальными данными. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | расчет зоны плазмообразования | ru_RU |
| dc.subject | магнетронная распылительная система | ru_RU |
| dc.title | Алгоритм расчета зоны плазмообразования в магнетронной распылительной системе | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Радиотехника и электроника : материалы 55-й юбилейной научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2019)
|
