Please use this identifier to cite or link to this item:
https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/36699
Title: | Система генерации плазмы атмосферного разряда для наноразмерной очистки и активации поверхности твердых тел |
Authors: | Никитюк, С. А. |
Keywords: | авторефераты диссертаций;диэлектрический барьерный разряд;генерация плазмы |
Issue Date: | 2019 |
Publisher: | БГУИР |
Citation: | Никитюк, С. А. Система генерации плазмы атмосферного разряда для наноразмерной очистки и активации поверхности твердых тел : автореф. дисс. ... магистра технических наук : 1- 41 80 01 / С. А. Никитюк; науч. рук. Д. А. Котов. - Минск : БГУИР, 2019. – 8 с. |
URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/36699 |
Appears in Collections: | 1-41 80 01 Микро- и наноэлектроника
|
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.