| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Козлова, С. А. | - |
| dc.date.accessioned | 2019-10-09T12:21:22Z | - |
| dc.date.available | 2019-10-09T12:21:22Z | - |
| dc.date.issued | 2019 | - |
| dc.identifier.citation | Козлова, С. А. Исследования электрофизических характеристик возбуждения плазмы двухчастотного разряда : автореф. дисс. ... магистра технических наук : 1- 41 80 02 / С. А. Козлова; науч. рук. С. И. Мадвейко. - Минск : БГУИР, 2019. – 9 с. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/36711 | - |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | авторефераты диссертаций | ru_RU |
| dc.subject | низкотемперaтурнaя плaзмa | ru_RU |
| dc.subject | СВЧ рaзряд | ru_RU |
| dc.title | Исследования электрофизических характеристик возбуждения плазмы двухчастотного разряда | ru_RU |
| dc.type | Автореферат | ru_RU |
| Appears in Collections: | 1-41 80 02 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
|
