https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/36714| Title: | Исследование эффективности способа динамического управления распределением СВЧ энергии в объеме плазменной камеры СВЧ плазмотрона |
| Authors: | Пронина, М. И. |
| Keywords: | авторефераты диссертаций;плазма СВЧ разряда;СВЧ энергия |
| Issue Date: | 2019 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Пронина, М. И. Исследование эффективности способа динамического управления распределением СВЧ энергии в объеме плазменной камеры СВЧ плазмотрона: автореф. дисс. ... магистра технических наук : 1- 41 80 02 / М. И. Пронина; науч. рук. С. И. Мадвейко. - Минск : БГУИР, 2019. – 9 с. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/36714 |
| Appears in Collections: | 1-41 80 02 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Pronina_Issledovanie.pdf | 308.65 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.