| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Ланин, В. Л. | - |
| dc.contributor.author | Волк, С. | - |
| dc.contributor.author | Первенецкий, А. П. | - |
| dc.date.accessioned | 2019-10-24T08:34:32Z | - |
| dc.date.available | 2019-10-24T08:34:32Z | - |
| dc.date.issued | 2019 | - |
| dc.identifier.citation | Ланин, В. Л. Лазерное формирование отверстий в кремниевых подложках 3D электронных модулей / Владимир Ланин, Сергей Волк, Артем Первенецкий // Технологии в электронной промышленности. – 2019. – № 2. – С. 65-67. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/36851 | - |
| dc.description.abstract | Рассматривается технология формирования сквозных отверстий в кремниевых подложках под воздействием лазерного излучения. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | ООО «Медиа КиТ» | ru_RU |
| dc.subject | публикации ученых | ru_RU |
| dc.subject | лазер | ru_RU |
| dc.subject | отверстие | ru_RU |
| dc.subject | кремниевая подложка | ru_RU |
| dc.subject | 3D электронный модуль | ru_RU |
| dc.title | Лазерное формирование отверстий в кремниевых подложках 3D электронных модулей | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Публикации в зарубежных изданиях
|
