https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/36854| Title: | Лазерная размерная обработка кремниевых подложек 3D электронных модулей |
| Authors: | Ланин, В. Л. Первенецкий, А. П. Лаппо, А. И. |
| Keywords: | публикации ученых;лазер;размерная обработка;кремниевая подложка;3D электронный модуль |
| Issue Date: | 2019 |
| Publisher: | Белорусско-Российский университет |
| Citation: | Ланин, В. Л. Лазерная размерная обработка кремниевых подложек 3D электронных модулей / В. Л. Ланин, А. П. Первенецкий, А. И. Лаппо // Материалы, оборудование и ресурсосберегающие технологии : материалы Междунар. науч.-техн. конф., Могилев, 25-26 апреля 2019 г. – Могилев : Белорус.-Рос. ун-т, 2019. – С. 130-131. |
| Abstract: | Применение пикосекундного лазера с длиной волны 532 нм более эффективно, поскольку сокращается почти в 2 раза время обработки, улучшается качество формируемого отверстия в кремниевой подложке, зона термического влияния уменьшается на 30–40%. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/36854 |
| Appears in Collections: | Публикации в изданиях Республики Беларусь |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Lanin_Lazernaya.pdf | 382.95 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.