| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Моковский, В. А. | - |
| dc.contributor.author | Володин, И. А. | - |
| dc.date.accessioned | 2019-10-29T08:10:08Z | - |
| dc.date.available | 2019-10-29T08:10:08Z | - |
| dc.date.issued | 2019 | - |
| dc.identifier.citation | Моковский, В. А. Технологические процессы получения полупроводниковых пластин / Моковский В. А., Володин И. А. // Электронные системы и технологии : 55-я юбилейная конференция аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 22-26 апреля 2019 г. : сборник тезисов докладов / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск : БГУИР, 2019. – С. 187 – 188. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/36943 | - |
| dc.description.abstract | Современные полупроводниковые приборы и интегральные микросхемы представляют собой чрезвычайно сложные
устройства, отдельные компоненты которых имеют размеры не более доли микрометра. Изготовление таких устройств
осуществляется на монокристаллических полупроводниковых пластинах с использованием
фотолитографии.Полупроводниковые пластины, предназначенные для формирования изделий микроэлектроники,
характеризуются сoвepшенной атомной структурой и высокой геометрической точностью обеспечения этих качеств
разработана оригинальная технология механической, химической и химико-механической обработки моно-кристаллических
материалов. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | полупроводниковые приборы | ru_RU |
| dc.subject | интегральные микросхемы | ru_RU |
| dc.title | Технологические процессы получения полупроводниковых пластин | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Электронные системы и технологии : материалы 55-й юбилейной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2019)
|
