https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/36975| Title: | Финишная обработка кремниевых пластин |
| Authors: | Шелудченко, С. И. |
| Keywords: | материалы конференций;химические производства;интегральные микросхемы |
| Issue Date: | 2019 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Шелудченко, С. И. Финишная обработка кремниевых пластин / Шелудченко С. И. // Электронные системы и технологии : 55-я юбилейная конференция аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 22-26 апреля 2019 г. : сборник тезисов докладов / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск : БГУИР, 2019. – С. 246. |
| Abstract: | Учитывая, что одним из приоритетных направлений развития экономики Республики Беларусь на ближайшую перспективу является ресурсосбережение, проводимые научно-технические разработки должны нацеливаться на экономию дорогостоящих химических реактивов, электроэнергии при сохранении требуемых технологических характеристик химических производств. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/36975 |
| Appears in Collections: | Электронные системы и технологии : материалы 55-й юбилейной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2019) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Sheludchenko_Finishnaya.pdf | 410.49 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.