| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Дуксин, М. В. | - |
| dc.date.accessioned | 2019-11-13T08:53:54Z | - |
| dc.date.available | 2019-11-13T08:53:54Z | - |
| dc.date.issued | 2019 | - |
| dc.identifier.citation | Дуксин, М. В. Формирование пленок SiOC ионно-лучевым распылением составной мишени SiO2/25 %C / Дуксин М. В. // Электронные системы и технологии : 55-я юбилейная конференция аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 22-26 апреля 2019 г. : сборник тезисов докладов / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск : БГУИР, 2019. – С. 286-287. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/37200 | - |
| dc.description.abstract | Проведено исследование влияния состава рабочего газа и температуры подложки при нанесении пленок SiOC реактивным ионно-лучевым распылением составной мишени SiO2/25 %C на электрофизические и спектральные характеристики. Добавка кислорода к аргону позволила увеличить пропускание и снизить поглощение в видимом и ближнем ИК диапазоне. Нагрев подложки также способствовал росту пропускания. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | диоксид кремния | ru_RU |
| dc.subject | распыление | ru_RU |
| dc.subject | пленка SiOC | ru_RU |
| dc.subject | составная мишень | ru_RU |
| dc.title | Формирование пленок SiOC ионно-лучевым распылением составной мишени SiO2/25 %C | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Публикации в зарубежных изданиях
|
