https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/37296| Title: | Селективное плазмохимическое травление нитрида кремния к диоксиду кремния |
| Authors: | Емельянов, В. В. |
| Keywords: | материалы конференций;плазмохимическое травление;ВЧ генератор;селективность |
| Issue Date: | 2019 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Емельянов, В. В. Селективное плазмохимическое травление нитрида кремния к диоксиду кремния / Емельянов В. В. // Электронные системы и технологии : 55-я юбилейная конференция аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 22-26 апреля 2019 г. : сборник тезисов докладов / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск : БГУИР, 2019. – С. 293-294. |
| Abstract: | Описаны результаты эксперимента по увеличению селективности нитрида кремния к диоксиду кремния. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/37296 |
| Appears in Collections: | Электронные системы и технологии : материалы 55-й юбилейной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2019) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Emelyanov_Selektivnoye.pdf | 1.03 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.