| Title: | Плазменный синтез тонких пленок нитрида углерода |
| Authors: | Филимонов, Н. С. |
| Keywords: | материалы конференций;плазменный синтез;пленка |
| Issue Date: | 2019 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Филимонов, Н. С. Плазменный синтез тонких пленок нитрида углерода / Филимонов Н. С. // Электронные системы и технологии : 55-я юбилейная конференция аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 22-26 апреля 2019 г. : сборник тезисов докладов / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск : БГУИР, 2019. – С. 385-386. |
| Abstract: | Проведено исследование влияния состава рабочего газа и температуры подложки на спектральные и трибологические характеристики пленок нитрида углерода при синтезе прямым осаждением из ионных пучков метана и азота. Нагрев подложки приводил в снижению пропускания и коэффициента трения. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/37311 |
| Appears in Collections: | Электронные системы и технологии : материалы 55-й юбилейной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2019)
|
