https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/37315| Title: | Ионно-лучевой синтез тонкопленочных покрытий из СF |
| Authors: | Гиль, Г. С. Данилевич, Д. С. |
| Keywords: | материалы конференций;пленка СF |
| Issue Date: | 2019 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Гиль, Г. С. Ионно-лучевой синтез тонкопленочных покрытий из СF / Гиль Г. С., Данилевич Д. С. // Электронные системы и технологии : 55-я юбилейная конференция аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 22-26 апреля 2019 г. : сборник тезисов докладов / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск : БГУИР, 2019. – С. 271. |
| Abstract: | Проведено исследование влияния состава рабочего газа, напряжения на мишени и температуры подложки при нанесении пленок СF реактивным ионно-лучевым распылением графитовой мишени на скорость нанесения, электрофизические, спектральные и гидрофобные характеристики. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/37315 |
| Appears in Collections: | Электронные системы и технологии : материалы 55-й юбилейной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2019) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Gil_Ionno-luchevoy.pdf | 546.24 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.