| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Голосов, А. Д. | - |
| dc.contributor.author | Аюпов, В. А. | - |
| dc.contributor.author | Шамшуров, П. Ю. | - |
| dc.date.accessioned | 2019-11-16T09:19:02Z | - |
| dc.date.available | 2019-11-16T09:19:02Z | - |
| dc.date.issued | 2019 | - |
| dc.identifier.citation | Голосов, А. Д. Нанесение пленок танталата-ниобата стронция-висмута в off-axis конфигурации / Голосов А. Д., Аюпов В. А., Шамшуров П. Ю. // Электронные системы и технологии : 55-я юбилейная конференция аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 22-26 апреля 2019 г. : сборник тезисов докладов / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск : БГУИР, 2019. – С. 275-276. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/37318 | - |
| dc.description.abstract | Метод магнетронного нанесения тонких пленок на подложки в вакууме давно и прочно заняло свое место в получении функциональных покрытий, как в микроэлектронике, так и в других отраслях промышленности. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | нанесение пленок | ru_RU |
| dc.subject | пленка | ru_RU |
| dc.subject | off-axis конфигурация | ru_RU |
| dc.title | Нанесение пленок танталата-ниобата стронция-висмута в off-axis конфигурации | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Электронные системы и технологии : материалы 55-й юбилейной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2019)
|
