| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Лаппо, А. И. | - |
| dc.contributor.author | Боброва, Т. С. | - |
| dc.contributor.author | Кузнецова, О. В. | - |
| dc.date.accessioned | 2019-11-18T12:52:50Z | - |
| dc.date.available | 2019-11-18T12:52:50Z | - |
| dc.date.issued | 2019 | - |
| dc.identifier.citation | Лаппо, А. И. Моделирование процесса лазерной прошивки отверстий в кремнии при формировании 3D структур / Лаппо А. И., Боброва Т. С., Кузнецова О. В. // Информационные технологии и системы 2019 (ИТС 2019) = Information Teсhnologies and Systems 2019 (ITS 2019) : материалы международной научной конференции, Минск, 30 октября 2019 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники; редкол. : Л. Ю. Шилин [и др.]. – Минск, 2019. – С. 232 – 233. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/37370 | - |
| dc.description.abstract | Математическое моделирование температурно-временных зависимостей и распределение тепловых полей
нагрева кремневой пластины при формирование переходных отверстий лазерным источником. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | математическое моделирование | ru_RU |
| dc.subject | 3D электронные модули | ru_RU |
| dc.title | Моделирование процесса лазерной прошивки отверстий в кремнии при формировании 3D структур | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | ИТС 2019
|
