Закономерности формирования тонких металлических пленок на стекле при ионно-ассистированном осаждении

Abstract

Методами растровой электронной микроскопии (РЭМ) и атомно-силовой микроскопии (АСМ) исследовано влияние условий ионно-ассистированного осаждения на микроструктуру поверхности тонких металлических пленок из молибдена на стеклянные подложки. Получено, что при пассивном нанесении Mo с увеличением времени осаждения покрытия с 3 до 9 ч шероховатость поверхности увеличивается от 1,05 до 1,66 нм и уменьшается при приложении потенциала, снижаясь до 0,33 нм при осаждении в течение 5 ч при U = 10 кВ. Установлена корреляция характера изменения шероховатости пленок и среднего диаметра, объемной доли и удельной поверхности границ частиц микрокапельной фракции в зависимости от режима и времени нанесения покрытий. Построение гистограмм распределения высот и впадин рельефа поверхности позволило провести количественный анализ изменения микроморфологии пленок в процессе их роста.