| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Лапко, А. В. | - |
| dc.date.accessioned | 2019-11-27T11:55:40Z | - |
| dc.date.available | 2019-11-27T11:55:40Z | - |
| dc.date.issued | 2019 | - |
| dc.identifier.citation | Лапко, А. В. Особенности классификации дефектов полупроводниковой пластины при автоматизированном контроле / Лапко А. В. // Информационные технологии и системы 2019 (ИТС 2019) = Information Teсhnologies and Systems 2019 (ITS 2019) : материалы международной научной конференции, Минск, 30 октября 2019 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники; редкол. : Л. Ю. Шилин [и др.]. – Минск, 2019. – С. 62 – 63. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/37552 | - |
| dc.description.abstract | В работе рассматриваются особенности классификации дефектов, возникающих при производстве полупроводниковой пластины, а также классификации, основанной на учете размеров дефекта, влияния
дефекта на сформированную топологию пластины, причине возникновения дефекта или на цифровых параметрах, необходимых для автоматизированных систем, которые отличают дефектные области от
бездефектных. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | топологическая классификация дефектов | ru_RU |
| dc.subject | полупроводниковая пластина | ru_RU |
| dc.title | Особенности классификации дефектов полупроводниковой пластины при автоматизированном контроле | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | ИТС 2019
|
