| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Сабодаш, О. А. | - |
| dc.contributor.author | Пронина, М. И. | - |
| dc.contributor.author | Прокофьев, С. С. | - |
| dc.date.accessioned | 2019-12-26T12:00:40Z | - |
| dc.date.available | 2019-12-26T12:00:40Z | - |
| dc.date.issued | 2019 | - |
| dc.identifier.citation | Сабодаш, О. А. Влияние площади поверхности кремниевых пластин на величину СВЧ мощности в разрядной камере СВЧ плазмотрона резонаторного типа / Сабодаш О. А., Пронина М. И., Прокофьев С. С. // Электронные системы и технологии : 55-я юбилейная конференция аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 22-26 апреля 2019 г. : сборник тезисов докладов / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск : БГУИР, 2019. – С. 350-351. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/37972 | - |
| dc.description.abstract | учения кремниевыми пластинами обладающие высоким тангенсом угла диэлектрических потерь.
Полученные результаты можно использовать при проектировании новых или модернизации
существующих СВЧ плазменных систем технологического назначения, а также при разработке
технологических процессов плазмохимической обработки полупроводниковых материалов. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | СВЧ-плазмотрон | ru_RU |
| dc.subject | кремниевая пластина | ru_RU |
| dc.subject | плазменная система | ru_RU |
| dc.title | Влияние площади поверхности кремниевых пластин на величину СВЧ мощности в разрядной камере СВЧ плазмотрона резонаторного типа | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Электронные системы и технологии : материалы 55-й юбилейной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2019)
|
