| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Вилья, Н. | - |
| dc.contributor.author | Голосов, Д. А. | - |
| dc.contributor.author | Нгуен, Т. Д. | - |
| dc.date.accessioned | 2020-01-17T10:49:26Z | - |
| dc.date.available | 2020-01-17T10:49:26Z | - |
| dc.date.issued | 2019 | - |
| dc.identifier.citation | Вилья, Н. Диэлектрические свойства пленок оксида тантала, нанесенных методом реактивного магнетронного распыления / Вилья Н., Голосов Д. А., Нгуен Т. Д. // Проблемы физики, математики и техники. – 2019. – № 2 (39). – C. 15 – 19. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/38244 | - |
| dc.description.abstract | Представлены результаты исследований диэлектрических характеристик пленок оксида тантала, нанесенных методом
реактивного магнетронного распыления Ta мишени в Ar/O2 смеси газов. Установлены зависимости диэлектрической
проницаемости, тангенса угла диэлектрических потерь, ширины запрещенной зоны, плотности токов утечки от содержания кислорода в Ar/O2 смеси газов в процессе нанесения пленок. Получены пленки с диэлектрической проницаемостью 12–30 единиц, тангенсом угла диэлектрических потерь 0.01, плотностью токов утечки менее 0.1 А/см2 при напряженности электрического поля 2.0×106. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | Гомельский государственный университет имени Ф.Скорины | ru_RU |
| dc.subject | публикации ученых | ru_RU |
| dc.subject | оксид тантала | ru_RU |
| dc.subject | реактивное магнетронное распыление | ru_RU |
| dc.subject | МОП структура | ru_RU |
| dc.subject | диэлектрические свойства | ru_RU |
| dc.title | Диэлектрические свойства пленок оксида тантала, нанесенных методом реактивного магнетронного распыления | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Публикации в изданиях Республики Беларусь
|
