Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/38587
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorКовалевский, А. А.-
dc.contributor.authorСтрогова, А. С.-
dc.contributor.authorКузнецов, Д. Ф.-
dc.contributor.authorВоронец, Я. С.-
dc.contributor.authorГранько, С. В.-
dc.date.accessioned2020-02-21T07:22:08Z-
dc.date.available2020-02-21T07:22:08Z-
dc.date.issued2019-
dc.identifier.citationИсследование влияния технеции в составе катализаторов из соединений РЗЭ на процесс разложения моногидридов кремния и германия / Ковалевский А. А. [и др.] // Микроэлектроника. – 2019. – Т.48, №5. – С. 323 – 333. – DOI: 10.1134/S0544126919050053.ru_RU
dc.identifier.urihttps://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/38587-
dc.description.abstractСтатья посвящена установлению технеции в составе катализаторов из соединений РЗЭ на процесс разложения моногидридов кремния и германия при выращивании эпитаксиальных пленок кремния и твердого раствора кремний-германий.ru_RU
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherООО «ИКЦ «Академкнига»ru_RU
dc.subjectпубликации ученыхru_RU
dc.subjectкатализаторыru_RU
dc.subjectполиимидная мембранаru_RU
dc.subjectмоногидридыru_RU
dc.subjectмоносиланru_RU
dc.subjectэпитаксиальные пленкиru_RU
dc.titleИсследование влияния технеции в составе катализаторов из соединений РЗЭ на процесс разложения моногидридов кремния и германияru_RU
dc.typeСтатьяru_RU
Appears in Collections:Публикации в зарубежных изданиях

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Kovalevskiy_Issledovaniye.pdf465.06 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.