https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/38649| Title: | Лазерное формирование отверстий в неметаллических подложках |
| Authors: | Ланин, В. Л. Фам Ван Тунг Чан Ньян Дат |
| Keywords: | публикации ученых;лазерное излучение;неметаллические подложки;кремний;отверстия |
| Issue Date: | 2020 |
| Publisher: | Академия наук Молдовы |
| Citation: | Ланин, В. Л. Лазерное формирование отверстий в неметаллических подложках / В. Л. Ланин, Фам Ван Тунг, Чан Ньян Дат // Электронная обработка материалов. – 2020. – № 1(56). – С. 76–83. – DOI: 10.5281/zenodo.3640390. |
| Abstract: | Предложено использование импульсного пикосекундного лазера с длиной волны 532 нм и частотой повторения 15 Гц для формирования отверстий диаметром до 0,1 мм в неметаллических подложках: кремнии, керамике и др. Моделированием в MathCAD и COMSOL Multiphysics установлено, что значение половинного угла раствора светового конуса, которое зависит от фокусировки лазерного излучения, оказывает значительное влияние на глубину и диаметр отверстий при лазерной обработке. Исследовано влияние режимов лазерной обработки наносекундным и пикосекундными лазерами с длинами волн 1064 и 532 нм на конусообразность и время формирования отверстий в кремниевых подложках. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/38649 |
| Appears in Collections: | Публикации в зарубежных изданиях |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Lanin_Lazernoye.pdf | 363.02 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.