| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Котов, Д. А. | - |
| dc.contributor.author | Родионов, Ю. А. | - |
| dc.date.accessioned | 2014-07-11T07:23:30Z | - |
| dc.date.accessioned | 2017-07-17T07:47:40Z | - |
| dc.date.available | 2014-07-11T07:23:30Z | - |
| dc.date.available | 2017-07-17T07:47:40Z | - |
| dc.date.issued | 2011 | - |
| dc.identifier.citation | Котов, Д. А. Базовые технологические процессы изготовления интегральных схем и микроэлектромеханических систем. Лаб. практикум : учебно - метод. пособие / Д. А. Котов, Ю. А. Родионов. – Минск : БГУИР, 2011. – 44 с. | ru_RU |
| dc.identifier.isbn | 978-985-488-425-7 | - |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/387 | - |
| dc.description.abstract | В пособии рассматриваются четыре технологических процесса: химическое травление; высокотемпературная диффузия; ионное легирование; микролитография. В конце пособия приводится перечень контрольных вопросов и литература. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | учебно-методические пособия | ru_RU |
| dc.subject | высокотемпературная диффузия | ru_RU |
| dc.subject | ионное легирование | ru_RU |
| dc.subject | микролитография | ru_RU |
| dc.subject | интегральные микросхемы | ru_RU |
| dc.subject | лабораторные работы | ru_RU |
| dc.title | Базовые технологические процессы изготовления интегральных схем и микроэлектромеханических систем. Лаб. практикум : учебно - метод. пособие | ru_RU |
| dc.type | Book | ru_RU |
| Appears in Collections: | Кафедра микро- и наноэлектроники
|
