| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Мартусевич, А. Н. | - |
| dc.date.accessioned | 2020-05-19T07:21:13Z | - |
| dc.date.available | 2020-05-19T07:21:13Z | - |
| dc.date.issued | 2012 | - |
| dc.identifier.citation | Мартусевич, А. Н. Формирования плёнок легированного оксида циркония методом ВЧ-магнитронного распыления / А. Н. Мартусевич // Моделирование, компьютерное проектирование и технология производства электронных средств : материалы 48–ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 7 – 11 мая 2012 г. / редкол.: М. П. Батура [и др.]. – Минск : БГУИР, 2012. – С. 98. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/38953 | - |
| dc.description.abstract | Проведены исследования электрофизических характеристик пленок оксида циркония стабилизированных иттрием нанесенных методом ВЧ- магнитронного распыления. Методом рентгенофазового анализа установлено, что полученные слои является аморфным, и в кубическую структуру в процессе отжига на воздухе при температуре более 700 °С. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | пленки оксида циркония | ru_RU |
| dc.subject | ВЧ-магнитронное распыление | ru_RU |
| dc.title | Формирования плёнок легированного оксида циркония методом ВЧ-магнитронного распыления | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Моделирование, компьютерное проектирование и технология производства электронных систем : материалы 48-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2012)
|
