| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Песецкий, П. С. | - |
| dc.date.accessioned | 2020-05-19T07:27:57Z | - |
| dc.date.available | 2020-05-19T07:27:57Z | - |
| dc.date.issued | 2012 | - |
| dc.identifier.citation | Песецкий, П. С. Исследование характеристик слоев поликристаллического кремния / П. С. Песецкий // Моделирование, компьютерное проектирование и технология производства электронных средств : материалы 48–ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 7 – 11 мая 2012 г. / редкол.: М. П. Батура [и др.]. – Минск : БГУИР, 2012. – С. 118-119. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/38954 | - |
| dc.description.abstract | Исследована микроструктура, морфология поверхности пропускание и состав слоев поликристаллического кремния, полученных осаждением из ионных пучков в вакууме. Проанализировано влияние режимов нанесения на характеристики пленок. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | поликристаллический кремний | ru_RU |
| dc.subject | тонкопленочное покрытие | ru_RU |
| dc.title | Исследование характеристик слоев поликристаллического кремния | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Моделирование, компьютерное проектирование и технология производства электронных систем : материалы 48-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2012)
|
