| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Симченко, С. В. | - |
| dc.contributor.author | Бурцева, В. П. | - |
| dc.contributor.author | Кайкы, М. Н. | - |
| dc.date.accessioned | 2020-06-15T09:07:35Z | - |
| dc.date.available | 2020-06-15T09:07:35Z | - |
| dc.date.issued | 2020 | - |
| dc.identifier.citation | Симченко, С. В. Получение плёнок на основе нитридов металлов Ti, Sn, Ag методом магнетронного напыления / Симченко С. В., Бурцева В.П., Кайкы М. Н. – Репозиторий БГУИР, 2020. – [Электронный ресурс]. - Режим доступа: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/39077. | ru_RU |
| dc.identifier.issn | 2410-4655 | - |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/39077 | - |
| dc.description | Опубликовано в репозитории БГУИР | ru_RU |
| dc.description.abstract | Получение плёнок металлов TiN, SnN, AgN методом магнетронного напыления и их спектры поглощения. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | неопубликованный документ | ru_RU |
| dc.subject | магнетронное напыление | ru_RU |
| dc.subject | нитриды металлов | ru_RU |
| dc.subject | спектры поглощения | ru_RU |
| dc.title | Получение плёнок на основе нитридов металлов Ti, Sn, Ag методом магнетронного напыления | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Публикации в репозитории БГУИР
|
