Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/39377
Title: Оптимизация режимов лазерной импульсной обработки при формировании отверстий в кремнии и керамике
Other Titles: Optimization of laser pulse processing when forming holes in silicon and ceramics
Authors: Ланин, В. Л.
Чан, Н. Д.
Keywords: материалы конференций;лазерная импульсная обработка;формирование отверстий;кремний;laser pulse processing;hole formation;silicon
Issue Date: 2020
Publisher: Беспринт
Citation: Ланин, В. Л. Оптимизация режимов лазерной импульсной обработки при формировании отверстий в кремнии и керамике / В. Л. Ланин, Н. Д. Чан // BIG DATA and Advanced Analytics = BIG DATA и анализ высокого уровня: сб. материалов VI Междунар. науч.-практ. конф., Минск, 20-21 мая 2020 года: в 3 ч. Ч. 3 / редкол.: В. А. Богуш [и др.]. – Минск : Бестпринт, 2020. – С. 173–177.
Abstract: В процессе лазерной импульсной обработки при формировании отверстий в кремнии и керамике, время нагрева и скорость сверления отверстий с использованием лазерных импульсов длительностью микро-, нано и пикосекунды рассчитаны при разных значениях интенсивности этих импульсов. Определение требуемой интенсивности лазерного луча в процессе лазерного формирования отверстий позволяет оптимизировать процесс.
Alternative abstract: In laser pulse process when forming holes in silicon and ceramics, the heating stage time and the drilling velocity using laser pulse (micro-, nano-, picoseconds) have been calculated at different values of intensity of these pulse. Determination of the effect of laser beam intensity in laser holes formation process allows to optimize the process.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/39377
ISBN: 978-985-905-339-9
Appears in Collections:BIG DATA and Advanced Analytics = BIG DATA и анализ высокого уровня : материалы конференции (2020)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Lanin_Optimizatsiya3.pdf847.23 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.